ASML jest jedynym dostawcą komercyjnych skanerów EUV. Ograniczenia eksportu uniemożliwiają sprzedaż tych maszyn chińskim odbiorcom. SMIC i Huawei rozwijają więc produkcję zaawansowanych układów z wykorzystaniem starszych metod litografii. Na targach China International Industry Fair w Szanghaju startup Langdao
Silex pokazał prototyp źródła światła EUV. Jego parametry wskazują na postęp, ale nie oznaczają jeszcze przełomu na miarę technologii ASML.