Chińska firma PuLin Technology poinformowała o pomyślnym przekazaniu klientowi pierwszego w kraju urządzenia do nanolitografii z serii PL-SR. To wydarzenie otwiera nowy rozdział w rozwoju krajowej technologii półprzewodnikowej i przełamuje długoletnią dominację zagranicznych producentów na rynku zaawansowanego sprzętu do litografii.
Przełomowe osiągnięcie na rynku półprzewodników
Firma PuLin Technology ogłosiła 5 sierpnia, iż ich własnej konstrukcji maszyna do natryskowego, krokowego nanonadruku – PL-SR – została oficjalnie przekazana pierwszemu krajowemu odbiorcy z sektora półprzewodników. Sprzęt przeszedł rygorystyczne testy i uzyskał pozytywną ocenę techniczną. Jest to pierwsze tego typu rozwiązanie w całości opracowane i wyprodukowane w Chinach, które stanowi realną alternatywę dla dotychczasowych, importowanych urządzeń.
PL-SR to zaawansowana maszyna przeznaczona do produkcji chipów z wykorzystaniem techniki nanoimprint lithography (NIL). Pozwala na odwzorowanie struktur o szerokości poniżej 10 nanometrów, czyli istotnie wykraczających poza możliwości flagowego produktu Canona – FPA-1200NZ2C (limitowanego do 14 nm i objętego embargiem na eksport do Chin). Oprogramowanie sterujące, system kontroli powierzchni matrycy oraz algorytmy do precyzyjnego nakładania i utwardzania specjalnych żywic to autorskie rozwiązania chińskiego zespołu inżynierów.

Nanolitografia zamiast EUV, oszczędności i przewaga dla krajowych producentów
Nanolitografia, w przeciwieństwie do powszechnie stosowanej litografii w ekstremalnym ultrafiolecie (EUV), pozwala na znaczne obniżenie kosztów inwestycji, choćby o 60%. Dodatkową zaletą jest kilkukrotnie niższe zużycie energii, bo urządzenia tego typu pochłaniają jedynie 10% tego. co systemy EUV, a to przekłada się na niższe koszty eksploatacji i bardziej ekologiczne profile produkcji.
W segmencie produkcji pamięci masowych, gdzie najważniejsze są powtarzalne struktury krzemowe, nanolitografia umożliwia pokonanie dotychczasowych barier technologicznych. PL-SR przeszedł już testy w fabrykach zajmujących się produkcją układów pamięci i mikrowyświetlaczy na bazie krzemu, potwierdzając przydatność w rzeczywistych procesach produkcyjnych.
Chińska odpowiedź na embargo i perspektywy rozwoju
Sukces PuLin Technology oznacza, iż krajowi producenci nie tylko uniezależniają się od importu, ale także zyskują dostęp do rozwiązań wykraczających w niektórych zastosowaniach poza światowe standardy.
Eksperci podkreślają jednak, iż nanolitografia, mimo wysokiej precyzji i niższych kosztów, nie jest w tej chwili efektywną technologią przy produkcji skomplikowanych układów logicznych, takich jak procesory. Jej potencjał ujawnia się przede wszystkim w sektorze pamięci i powtarzalnych struktur, gdzie już dziś może wspierać budowę konkurencyjnych fabryk w Chinach.